NTC-OTE-25-002 - Vyvinutá a ověřená technologie k přípravě grafenu na křemenný substrát
Autoři:
- CALTA Pavel (RAM)
- MINÁR Ján (RAM)
Projekt:
TN02000018
Národní Centrum Kompetence STROJÍRENSTVÍ
Abstrakt:
Vyvinutá technologie pro přípravu monokrystalických tenkých grafenových vrstev, jejíž motivací bylo zvládnutí technologie přípravy monovrstvého materiálu grafen s následným uplatněním především v elektrotechnice a mikroelektronice. Cílem bylo zvládnutí přípravy grafenových vrstev technologií CVD na měděný substrát a následně transfer grafenu na cílový křemenný substrát.
Klíčová slova:
2D materiál; grafen; metoda CVD; laserové zpracování